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기타

반도체·디스플레이 등 특수 공정을 위한 고객 맞춤형 검사·계측 설비를 자체 설계·제작합니다.

맞춤형 특수 검사·계측 설비

표면검사기·계측설비·자동화설비 등 표준 제품군만으로 대응하기 어려운 특수 공정에는 고객 요구사항에 맞춘 전용 설비를 새로 설계합니다. 반도체 웨이퍼, 디스플레이 유리 기판처럼 공정 조건이 까다로운 분야에서도 다수의 적용 실적을 보유하고 있습니다.

  • 1Wafer Bevel Etcher Measuring — 웨이퍼 Bevel 부위 자동 검사
  • 2Glass Pattern(AOI) 검사 — LCD Glass Pattern 정밀 자동 광학 검사
  • 3Vision Aligner — LCD 정렬 마크 인식 및 위치·각도 자동 보정
  • 4Mobile Cell 검사 — 휴대폰용 Display Cell 표면·내부 결함 검사
Custom Engineering

표준 제품으로 대응이 어려운 공정도 자체 설계로 해결합니다.

5μmPattern AOI 최소 검출 결함
0.3초Auto Focus 응답속도
반도체웨이퍼 Bevel 검사 대응
디스플레이Glass·Mobile Cell 검사 대응

기타 제품군

반도체·디스플레이 등 특수 산업 분야에 맞춘 전용 검사·계측 설비입니다.

  • 1
    Wafer Bevel Etcher Measuring ↗Bevel Etcher에서 가공된 웨이퍼의 앞·뒤 Bevel 영역을 촬상해 Machine Vision 알고리즘으로 자동 검사
  • 2
    Glass Pattern(AOI) 검사 ↗LCD Pattern 형성 후 공정 실효성과 품질 상태를 정밀 자동 검사, 결함 자동 Review 지원
  • 3
    Vision Aligner ↗LCD 특정 부위 정렬 마크 인식 후 상대 위치·각도를 자동 계산해 고속·고정밀 위치 보정
  • 4
    Mobile Cell 검사 ↗휴대폰용 Display Cell의 보호필름·POL 부착 상태를 단계별 Module로 정밀 검사

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표준 제품으로 해결되지 않는 검사 이슈가 있으신가요?

공정 조건을 알려주시면 맞춤형 설비를 설계해 드립니다.

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